材料制备工艺

导出

摘要 0319792采用金属镓层氮化技术在石英衬底上生长多晶体GaN[刊]/邵庆辉//真空科学与技术.—2003,23(2).—120～122(L)随着多晶 GaN 材料发光研究的不断深入,大面积、价格低廉的多晶 GaN 基光电器件的研制已成为工业生产中一个重要的研究领域。石英玻璃以共自身特有的优势,成为生长多晶 GaN

出处《电子科技文摘》 2003年第9期37-38,共2页 Sci.& Tech.Abstract

关键词材料制备工艺石英玻璃石英衬底真空科学光电器件磁性研究无定形交替沉积气敏特性溅射法

分类号 TN304.05 [电子电信—物理电子学]

引文网络
相关文献

1材料制备工艺[J].电子科技文摘,2006(4):42-43.
2材料制备工艺[J].电子科技文摘,2001,0(9):22-22.
3材料制备工艺[J].电子科技文摘,2002,0(11):26-26.
4材料制备工艺[J].电子科技文摘,2002,0(10):22-23.
5材料制备工艺[J].电子科技文摘,2000(2):28-28.
6武国英.甚大规模集成电路材料制备工艺[J].国际学术动态,1992(4):40-41.
7邵庆辉,叶志镇,Nasser N.Morgan,顾星,黄靖云,赵炳辉.采用金属镓层氮化技术在石英衬底上生长多晶GaN[J].真空科学与技术,2003,23(2):120-122.
8材料制备工艺[J].电子科技文摘,1999(10):33-33.
9材料制备工艺[J].电子科技文摘,2000(8):37-38.
10材料制备工艺[J].电子科技文摘,2000(5):36-36.

电子科技文摘

2003年第9期

浏览历史

内容加载中请稍等...

材料制备工艺

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史