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六氟化钨高纯电子气体专利分析
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1
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摘要
六氟化钨是自然界中最活泼元素氟的一种无机化合物,在室温下是无色气体或浅黄色液体,固体为易潮解的白色结晶。可用于电子工业,也可通过CVD技术用于使钨在钢表面上形成坚硬的碳化钨,并广泛用于氟化剂、聚合催化剂。
作者
白璐
周倩
机构地区
国家知识产权局专利局材料部
出处
《科技创新与应用》
2016年第15期73-73,共1页
Technology Innovation and Application
关键词
六氟化钨
电子气体
专利
分类号
TQ136.13 [化学工程—无机化工]
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