摘要
介绍国内外MEMS微继电器的研究现状,分析不同类型继电器的驱动原理和特点,讨论MEMS微继电器的基本结构特点和关键问题,并分析MEMS微继电器的发展趋势。
Introduces the current research status of relay MEMS micro, analyze the different types of relay drive principle and characteristic, discussed the basic structure of MEMS micro relay features and key problems, and analyzes the development trend of MEMS micro relay.
出处
《煤炭技术》
CAS
北大核心
2016年第5期275-276,共2页
Coal Technology
基金
山东省科技发展计划项目(2014YD0126)
山东省自然科学基金(Y2008D14)
关键词
微继电器
微机电系统
微驱动器
驱动原理
microrelay
micro-electronics machined system
micro actuator
driving principle
