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简单低成本制造高性能挠性晶体管
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摘要
威斯康星大学麦迪逊分校的工程师们开发了一种简易、便宜地在挠性塑料上成卷制造高性能晶体管的方法。此方法是在聚酯膜上覆有单晶硅和掺杂剂合成材料,用纳米压印工艺形成晶体管电路图形。可重复使用的纳米压印模具是用一种称为电子束光刻技术,在光致抗蚀剂形成一个纳米级图案,线路细致10纳米宽度。
出处
《印制电路信息》
2016年第6期71-71,共1页
Printed Circuit Information
关键词
低成本制造
晶体管
挠性
性能
电子束光刻技术
威斯康星大学
可重复使用
光致抗蚀剂
分类号
TN32 [电子电信—物理电子学]
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印制电路信息
2016年 第6期
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