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DJL-600型碳化硅单晶炉运行维护与故障排除

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摘要介绍了DJL-600型碳化硅单晶炉的基本结构和电气控制系统的工作原理,结合实际工作经验和设备的结构特点阐述了DJL一600型单晶炉的维护和常见故障排除方法。

作者杜广平

机构地区新疆天科合达蓝光半导体有限公司

出处《石河子科技》 2016年第2期56-58,共3页 Shihezi Science and Technology

关键词碳化硅单晶炉运行维护故障

分类号 TQ163.4 [化学工程—高温制品工业]

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石河子科技

2016年第2期

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