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利用3D列印打造低成本MEMS

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摘要 当今的微机电系统(MEMS)所使用的量产制造技术仰赖昂贵的半导体微影设备。因此,晶片的生产通常需要存在一个相当大的市场,才足以涵盖某种特定元件的生产成本要求,以及实现商品化的可能性。
出处 《半导体信息》 2016年第1期21-22,共2页 Semiconductor Information
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