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重回摩尔定律两大武器:EUV和三五族 成大势所趋
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摘要
英特尔在14纳米及10纳米制程推进出现延迟,已影响到处理器推出时程,也让业界及市场质疑:摩尔定律是否已达极限。不过,英特尔仍积极寻求在7纳米时代重回摩尔定律的方法,其中两大武器,分别是被视为重大微影技术世代交替的极紫外光(EUV),以及开始采用包括砷化铟镓(InGaAs)及磷化铟(InP)等三五族半导体材料。
出处
《半导体信息》
2016年第2期2-3,共2页
Semiconductor Information
关键词
摩尔定律
武器
EUV
纳米制程
半导体材料
纳米时代
世代交替
微影技术
分类号
TP332 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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