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MEMS惯性组件的误差特性分析与标定 被引量:20

Error Analysis and Calibration of MEMS Inertial Components
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摘要 针对惯性器件输出受工作环境及器件自身噪声影响,导致惯性组件输出信噪比低进而影响系统定位测姿精度等问题,提出MEMS惯性组件误差分析与标定方案。利用Allan方差对MEMS输出进行辨识,对输出信息曲线拟合并确立MEMS器件误差项的误差取值,建立MEMS几何误差模型并设计分立式标定方案。转台实验结果表明,24位置及速率标定方法可实现惯性组件常值误差系数的有效分离与求取,对比器件误差补偿前后的结果,验证了误差修正方案的可行性。 In view of the influence of the working environment and the noise of the inertial sensor,the output signalnoise ratio is low and the accuracy of the system is affected. The error analysis and calibration scheme of MEMS inertial device is proposed. MEMS output is identified by Allan variance method. The error term of data acquisition isobtained by curve fitting of output information. The error coefficients in the model are solved by using MEMS errormodel and tewnty-four position and speed calibration method. Experimental results of Turntable show that the method of combining calibration based on position and rate can be used to extract the error coefficients of MEMS inertialdevice. The comparison results Verified that the error correction scheme is feasible.
出处 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期859-864,共6页 Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金 国家自然科学基金项目(41304032) 高等学校博士学科专项科研基金(新教师类)项目(20132121120005) 第8批中国博士后科学基金特别项目(2015T80265) 第58批中国博士后科学基金面上项目(2015M581360) 辽宁省高等学校杰出青年学者成长计划项目(LJQ2015044) 辽宁省"百千万人才工程"培养经费项目(辽百千万立项[2015]76号) 辽宁省自然科学基金项目(2015020078) 江西省数字国土重点实验室开放研究基金项目(DLLJ201501) 精密工程与工业测量国家测绘地理信息局重点实验室开放基金项目(PF2015-13) 地球空间环境与大地测量教育部重点实验室开放基金项目(14-01-05) 对地观测技术国家测绘地理信息局重点实验室基金项目(K201401) 海岛(礁)测绘技术国家测绘地理信息局重点实验室项目(2014B05)
关键词 MEMS 标定 速率实验 艾伦方差 24位置 MEMS calibration rate experiment Allan variance twenty-four position
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参考文献12

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