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应用材料公司选择性材料技术带来蚀刻工艺新突破
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摘要
应用材料公司近期取得了蚀刻技术的新突破,推出业内首款极致选择性蚀刻工具Applied Producer Selectra^TM系统,通过引入全新的材料工程能力,助力3D逻辑芯片和存储芯片的尺寸持续缩小。
出处
《电子工业专用设备》
2016年第7期51-52,共2页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
应用材料公司
蚀刻工艺
材料技术
PRODUCER
蚀刻技术
工程能力
存储芯片
逻辑芯片
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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电子工业专用设备
2016年 第7期
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