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半导体所在Si衬底上生长Ga基半导体纳米线研究中取得进展
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摘要
Si是现代CMOS工艺不可或缺的材料,而Ⅲ-Ⅴ族半导体广泛应用于光电子、超高速微电子和超高频微波等器件中。长期以来,科学家们试图在Si衬底上外延高质量Ⅲ-Ⅴ族半导体。但由于晶格不匹配会导致生长的Ⅲ-Ⅴ族半导体质量较差。当材料降低到纳米尺度,由于应力可以得到有效释放,上述困难得以缓解。
机构地区
中国科学院半导体研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期1457-1457,共1页
Journal of Synthetic Crystals
关键词
Ⅲ-Ⅴ族半导体
SI衬底
GA
外延生长
高频微波
异质结
表面氧化
生长温度范围
赵建华
晶体生长
分类号
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
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人工晶体学报
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