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单轴微加速度器机电耦合分析
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摘要
在考虑静电力作用下,利用系统动态模型对单轴电容式加速度计机进行电耦合分析,低g值加速度的作用下感应质量块系统基底产生的微位移(nm级)和系统测量灵敏度,并采用差分电容电路输出便于提取f F(10-15F)级电容变化信号。
作者
李波
张宾
机构地区
中煤科工集团西安研究院有限公司
出处
《内蒙古煤炭经济》
2016年第13期118-119,共2页
Inner Mongolia Coal Economy
关键词
MEMS
梳齿
电容
加速度器
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
F406.3 [经济管理—产业经济]
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内蒙古煤炭经济
2016年 第13期
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