惰性阳极电镀镍装置

本发明公开了一种惰性阳极电镀镍装置。选用惰性材料作为阳极，选用半导体基板作为阴极。阳极置于阳极篮中，阴极则由夹具夹持。参与阴极表面镀镍过程的离子完全来自镀液。