期刊文献+

大规模集成电路中激光技术的运用研究

下载PDF
导出
摘要 在大规模集成电路中,激光技术在其中发挥着重要的作用。无解除加工是激光加工的主要特征,其能量密度大,光束直径小,加工质量可靠稳定,生产效率高。因此,在大规模的集成电路中,应该积极借鉴和应用该项技术。
作者 李超
出处 《科技创新与应用》 2016年第23期155-155,共1页 Technology Innovation and Application
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献29

共引文献20

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部