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我国首条石英玻璃基板成套生产线建成
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摘要
日前,基于光刻用石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)绿色制造技术,建材总院石英院在衢州建立了国内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线,该生产线可年产20 000片4-6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局面。
出处
《石油化工应用》
CAS
2016年第7期4-4,共1页
Petrochemical Industry Application
关键词
石英玻璃
基板
绿色制造技术
科研人员
中国化工信息
磨抛
制坯
工艺路线
加工精度
安全快速
分类号
TQ171.731 [化学工程—玻璃工业]
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