应用材料公司选择性材料技术带来蚀刻工艺新突破

应用材料公司近期取得了蚀刻技术的新突破，推出业内首肷极致选择性蚀刻工具Applied Producer SelectraTM系统，通过引入全新的材料工程能力，助力3D逻辑芯片和存储芯片的尺寸持续缩小。随着先进微型芯片的结构日益复杂，其深而窄的沟槽为芯片制造带来了全新的挑战，例如湿性化学成分无法穿透微小结构，或是无法在不损伤芯片的前提下清除不需要的物质。