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电子封装用硅铝合金激光气密焊接研究 被引量:7

Research of Packaging-used Silumin Alloys in Hermetic Laser Welding
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摘要 对电子封装用硅铝合金焊接材料的裂纹产生机理进行简要的分析。针对其焊接后极易开裂的现象,通过对硅铝合金的激光焊接工艺参数和焊接结构进行优化,获得漏率R_1小于5×10^(-9) Pa·m^3/s(He)的封装器件。气密性成品率高于95%,且通过按GJB548B-2005方法 1010.1条件B的100次温循等可靠性试验。 By analyzing the crack formation mechanism of laser welding aluminum-silicon alloy in electric packaging field, the paper optimizes the welding parameters and structureand obtains packages with the yield of hermetic higher than 95% and the leakage rate less than 5×10^-9Pa·m^3/s. The packages obtained also pass the high-reliable tests including 100 times temperature cycle in the condition B of method 1010.1 according to GJB548B-2005.
出处 《电子与封装》 2016年第8期1-4,共4页 Electronics & Packaging
关键词 硅铝合金 气密封装 激光焊接 silumin alloys hermetic package laser welding
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