新型叉指状电容式微小力发生装置研究

随着新兴产业和前沿科技飞速发展，微小力测量与应用日益广泛。本文对一种新型叉指状电容式微小力发生装置进行研究。在不同结构参数范围内分析了新型叉指状电容极板间距离变化与输出微小力之间的关系；并对叉指结构与平行板结构中极板间距变化对输出微小力影响进行了比较分析。结果表明叉指状电容式微小力发生装置能大幅减小极板间距离测量不确定度对微小力输出的影响。叉指状电容式微小力发生装置提供了一种新的静电力复现方法，对简化微小力标准装置的设计具有重要理论价值和实际意义。