一种膜法氦气提纯装置系统和工艺

申请（专利）号：201410219939．7公开（公告）日：2016-05—11申请（专利权）人：上海精腾新能源科技有限公司摘要：本发明涉及一种膜法氦气提纯装置系统及工艺：收集得到的混合氦气经第一预处理器的预处理，达到设定的人膜气体要求后，进入第一中空纤维膜进行分离；第一中空纤维膜分离得到的非渗透气回收或排空，分离得到的渗透气进入第二预处理器。