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负压环境下的气体循环净化装置

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摘要 申请(专利)号:201410634520.8公开(公告)日:2016-04—20申请(专利权)人:核工业理化工程研究院 摘要:本发明公开了一种负压环境下的气体循环净化装置,包括通过循环管路依次连通的蠕动泵、钛泵和负压工作系统;蠕动泵依靠两截带挡片的波纹管做压缩、拉伸的动作实现气体输送。
出处 《低温与特气》 CAS 2016年第4期7-7,共1页 Low Temperature and Specialty Gases
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