CoSb和CoSb2薄膜制造方法及热电性能

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摘要 AzizAhmed等人介绍和讨论了CoSb和CoSb2薄膜的结构、电性能及热电性能。这些薄膜是在常温下采用射频共沉积法在氧化态硅基板上沉积出来的。CoSb2相薄膜沉积物为非晶态，

出处《金属功能材料》 CAS 2016年第4期28-28,共1页 Metallic Functional Materials

关键词热电性能薄膜制造方法共沉积法硅基板氧化态非晶态沉积物

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金属功能材料

2016年第4期

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