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创造高端技术装备研发的“神话”——中国建材总院推进高精密碳化硅陶瓷在IC装备制造业的新应用纪实

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摘要装备制造业是制造业的核心组成部分,在某种意义上装备的先进程度可以代表整个国家的工业发展水平,因此建立强大的装备制造业是提高我国综合国力的途径之一。随着加工技术的进步,精密陶瓷作为第三代新兴材料,已经被引入到各种装备之中,充当着重要的角色,这为精密陶瓷的应用提供了广阔的用武之地,但与此同时,

作者唐婕霍艳丽

出处《中国建材科技》 2016年第4期1-2,共2页 China Building Materials Science & Technology

关键词碳化硅陶瓷精密陶瓷 IC 中国建材工业发展水平新兴材料装备研发光刻机材料科学研究第三代

分类号 F426.4 [经济管理—产业经济]

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中国建材科技

2016年第4期

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