半导体产业中重要一环 EUV光刻最新进展如何

ASML宣称它的Q2收到4台EUV订单，预期明年EUV发货达10台以上。EUV光刻设备一再延迟，而最新消息可能在2020年时能进入量产，而非常可能应用在5nm节点。业界预测未来在1znm的存储器生产中可能会有2层或者以上层会采用它，及在最先进制程节点（7 or 5nm）的逻辑器件生产中可能会有6-9层会使用它。