微纳米三坐标测量机探头等效直径测量

文中微纳米三坐标测量机在外尺寸测量过程中,探头与被测件存在接触力变形、摩擦力、还有测头的各向异性等因素,因此,对最终的测量精度有一定的影响。为了进一步提高微纳米三坐标测量机的测量精度,本文提出了通过对量块标准件进行不同角度方向测量,得到探头在测量外尺寸的不同角度方向测端等效直径。实验结果表明通过10mm厚度量块得到的外尺寸测端等效直径补偿20mm厚度量块,可以减小一定程度的探头测端直径误差。