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硅晶体线锯切削液的应用与发展
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摘要
切削液是硅晶体线锯切割过程中必不可少的附材,切削液组分随切割方式的不同而发生变化来满足对线锯切割的需求。本文对硅晶体切削液的分类及近年来切削液组分的研究状况进行了综述,分析了黏度、表面张力、p H值对切削液性能的影响,并预测了未来切削液的发展趋势。
作者
陈仁芳
邓宝祥
王晴晴
机构地区
天津工业大学环境与化学工程学院
出处
《太阳能》
2016年第9期22-24,共3页
Solar Energy
关键词
切削液
硅晶体
线锯切割
性能
分类号
TN305.1 [电子电信—物理电子学]
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