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双频激光干涉仪测量竖直轴光路调整实践 被引量:3

The Adjust Laser Beam Practice of Dual-Frequency Laser Interferometer System Measuring Erect Axes
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摘要 本文针对双频激光干涉仪在进行各种机床、风洞运动机构等竖直轴位置精度校准时,光路调整复杂,工作效率较低,测量精度难以保证等问题,在充分分析了光路调整工作原理的基础上,设计加工了一种竖直轴专用光路调整台,并成功应用于实践,缩短了光路调整时间,极大提高了工作效率。
出处 《计量与测试技术》 2016年第11期30-31,共2页 Metrology & Measurement Technique
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