泛林集团推出电介质原子层刻蚀工艺支持先进逻辑器件制造

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摘要最新Flex系统提供业界首创的电介质原子层刻蚀（ALE）生产工艺并已应用于量产。

出处《半导体信息》 2016年第5期17-18,共2页 Semiconductor Information

关键词刻蚀工艺原子层电介质逻辑器件制造 Flex系统生产工艺

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2016年第5期

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