ZnO基透明导电玻璃性质研究

本文论述在玻璃基片上生长ZnO薄膜，分析了ZnO薄膜的生长、结构、形貌性质。玻璃基片上生长的ZnO薄膜为六角纤锌矿结构，并以c轴为生长方向。薄膜晶粒的直径约200nm，表面粗糙度RMS～4nm。本文探索了ZnO薄膜与Ag电极间电流一电压关系，结果显示银电极与薄膜呈很好的欧姆接触，讨论了ZnO和Ag电极间接触与两者功函数的关系。