基于光学理论的PERC太阳电池背面AlOx/SiNx叠层膜的研究

AlOx/SiNx叠层膜广泛应用于PERC（钝化发射极和背面局部接触）太阳电池中，以达到增强背反射和提高背表面钝化效果的作用。在先前的研究中，光学理论分析仅应用于正面单层SiNx或SiOx／SiNx双层膜厚度优化分析，极少应用于背面AlOx／SiNx双层膜优化分析。本文采用Matlab软件，基于光学导纳矩阵理论，同时将AM1．5G标准太阳光谱，AlOx、SiNx、Al在整个光谱范围内（280-1200nm）的折射率系数n（λ）考虑在内，系统分析了AlOx/SiNx双层膜的背反射效果。另外，依据背面AlOx/SiNx、不同膜厚组合下透射光反射回硅片本体的反射率曲线分市和平均反射率作为评估指标进行理论分析，结果表明：AlOx／SiNx优化后最佳膜厚组合为15nm／80nm，为PERC太阳电池背面膜厚优化提供理论支持。