X-RAY镀层测厚仪检测及校正方法浅析

Study on Methods of Testing and Correcting of X-Ray Coating Thickness Gauge

基于X-RAY荧光光谱方法的基础理论,简单分析了能量散射X-RAY荧光光谱分析法的工作原理,通过对准直器尺寸、测量时间、应用程式、基材等参数的选择,分析了X-RAY镀层测厚仪检测及校正的方法。结果表明,检测校正后的X-RAY镀层测厚仪,测量结果的相对误差、相对标准差小,且该方法对企业生产具有指导意义。