微系统三维集成技术的新发展(续)

New Progress of the Micro System Three-Dimensional Integration Technology(Continued

5生物微系统生物微系统在生物传感和芯片上实验室两方面的应用有长足发展，前者具有提供稳定的观察、小体积、生物相容性和低寄生阻抗的TSV等特点，后者已发展了三代微流控生物芯片（DMFB），近几年的技术创新有：基于TSV双面集成的用于大脑神经传感的微系统；采用硅基微流体元件直接嵌入注塑制件的聚合物芯片实验室；可使第二代DMFB的控制管脚数最小化的新的互连线规划方案；在数字化微流体中的3D液滴驱动新方法.