摘要
表面微纳结构已经在微电子、半导体、太阳能电池、发光二极管、等离子基元、仿生材料、超材料、细胞生物学等领域得到了广泛的应用,极大地推动了表面科学与工程的进展。随着人们对各种表面新奇特性研究的深入,各种新型表面结构不断被提出。这些新型的结构,特别是复杂的多级次表面结构对微加工技术在成本、工艺、批量生产、精准设计和可控加工等方面提出了许多新的挑战,目前的常规微纳加工方法已经难以满足复杂结构的加工需要。
出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第1期258-259,共2页
New Chemical Materials