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重庆成功研制液晶面板和触摸屏等光刻装备

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摘要 近日从中国科学院重庆绿色智能技术研究院获悉.该院成功研制了用于微电子光刻的“2—12英寸UVLED平行光曝光模组”及用于PCB、
出处 《电子世界》 2017年第3期15-15,共1页 Electronics World
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