亚纳米精度光学表面离子束修形的基础研究

超精密加工是以追求高精度为目标的制造技术,纳米精度制造代表其发展前沿,以极大规模集成电路光刻制造、惯性约束聚变和高分对地观测等为代表的国家重大工程迫切需要纳米精度制造技术的支撑。