三维腹腔镜光学成像膜系工艺技术研究

三维腹腔镜由多组镜片组成,要求透过率高,成像清晰但不失真。根据其使用要求需要研究选择合适的薄膜材料,采用电子束真空镀膜的方法,同时加以离子辅助沉积系统,设计的依据是膜系设计软件,在膜厚控制方面尽量减少误差,可通过调整镀膜工艺参数以及光控和晶控结合的方法减少膜厚误差。在多组镜片上制备增厚膜,制备的膜要求颜色不失真,经测试膜层为400~700 nm,波段平均发射率小于0.5%,此时的成像效果清晰不失真,且膜层的抗腐蚀效果比较好,能完全满足医用光学仪器的使用要求。