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基于UVLED光源的平行光曝光设备开发及应用
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摘要
平行光曝光机是应用于半导体器件、印刷电路板、触摸屏、液晶面板等产品制造的一种光刻设备，可以方便高效地制作出微米量级的线路图形，应用非常广泛。
出处
《中国科技成果》
2017年第2期51-51,共1页
China Science and Technology Achievements
关键词
平行光
曝光机
LED光源
应用
设备开发
UV
半导体器件
印刷电路板
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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