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国内首台等离子去胶机问世

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摘要 近日,七星电子半导体装备家族再添新丁,公司全资子公司北京北方微电子发布了新产品IDE300设备,应用于先进封装倒装的等离子去胶工艺。作为国内首台自主研发的等离子去胶设备,首批产品已成功交付客户。
出处 《中国集成电路》 2017年第1期1-2,共2页 China lntegrated Circuit
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