退火对Sb2Te3薄膜结构和热电性能影响

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摘要 Naoki Hatsuta等人通过电极沉积法在304不锈钢基板上制出P-型Sb2Te3薄膜，在200～400℃温区退火1h。观察表明沉积态和低于250℃退火的薄膜都具有理论配比成分，即Sb：Te=40：60，

出处《金属功能材料》 CAS 2017年第1期43-43,共1页 Metallic Functional Materials

关键词薄膜结构性能影响退火热电不锈钢基板沉积法沉积态

分类号 TG156.2 [金属学及工艺—热处理]

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