研究人员提出金属陶瓷超材料薄膜制备新方法

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摘要中国科学院宁波材料技术与工程研究所提出了一种金属陶瓷超材料薄膜制备新方法，该方法采用传统的射频共溅射沉积工艺，辅以衬底偏压，制备了定向排布Ag金属纳米线／氧化铝陶瓷复合超材料薄膜，纳米线间距（轴心到轴心）进入sub-5nm区间，阵列中纳米线平均直径约为3nm；纳米线长径比可根据沉积时间来灵活调整；

出处《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期7-7,共1页 Lubrication Engineering

关键词薄膜制备材料技术金属陶瓷研究人员金属纳米线中国科学院氧化铝陶瓷沉积工艺

分类号 TB3 [一般工业技术—材料科学与工程]

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