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Nb10Zr靶材制备工艺研究 被引量:3

Study on Preparation Process of Nb10Zr Target
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摘要 研究了Nb10Zr铸锭预处理、锻造、轧制、热处理等工艺及Nb10Zr靶材的制备工艺。结果表明,1450℃保温90 min的铸锭预处理,可以改善锻造塑性;1 300℃径向圆周锻造、1 000℃轧制及1 200~1 450℃热处理,可以避免锻造和轧制开裂,晶粒度达到8级且组织均匀。 Pretreatment,forging,rolling and heat treatment for Nb10 Zr ingot and the preparation process of Nb10 Zr target were investigated. Experiment results showed that when the ingot was pretreated at 1 450 ℃ for 90 min,its plasticity would be improved; circular forging at 1 300 ℃,rolling at 1 000 ℃ and heat treatment at 1 200 - 1 450 ℃ could prevent the material from cracking in the process of forging and rolling. The grain size of Nb10 Zr target was of 8 grade,and the microstructure was uniform.
出处 《材料开发与应用》 CAS 2017年第1期73-79,共7页 Development and Application of Materials
基金 宁夏回族自治区科技攻关计划项目
关键词 Nb10Zr 靶材 制备工艺 晶粒尺寸 Nb10Zr target preparation process grain size
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