电镀蚀刻后线间余铜短路改善研究

电镀蚀刻后线间余铜短路的问题，可能造成产线品质恶化、进度延误。本文主要通过问题现象把握，异常影响因素确定，以及根据影响因素制定展开一系列试验测试方案验证并找出问题产生真因，通过改善真因解决异常问题。