重庆液晶面板低成本光刻工艺取得突破

近日，从中国科学院重庆绿色智能技术研究院获悉，该院成功研制了用于微电子光刻的“2．12英寸UVLED平行光曝光模组”及用于PCB、液晶面板和触摸屏等光刻装备的“5kW、8kW、10kW汞灯替代UVLED光源模组”系列产品。