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摘要
一种制备金刚石微米棒阵列膜的方法,它涉及一种制备金刚石微米棒阵列膜的方法。本发明的目的是要解决目前金刚石微米棒阵列膜制备工艺复杂,制备成本较高,不能精确控制孔洞长径比的问题,本发明步骤为:硅片模板的制备、涂覆金刚石悬浮液、放置样品、金刚石微米棒阵列膜的生长、硅片模板的剥离,即完成。
出处
《磨料磨具通讯》
2017年第3期34-35,共2页
关键词
专利信息
制备工艺
金刚石
微米棒
精确控制
阵列
长径比
悬浮液
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
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磨料磨具通讯
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