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KLA-Tencor公司介绍
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摘要
KLA-Tencor公司是全球领先的设备供应商,为半导体、数据存储、LED及其他相关纳米电子产业提供工艺控制与良率管理的解决方案。公司总部位于美国加州米尔皮塔斯市,并在世界各地设有专属的客户运营与服务中心。
出处
《电子工业专用设备》
2017年第1期69-72,共4页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
纳米电子
以色
数据存储
KLA-TENCOR
检测仪
工艺控制
服务中心
米尔
公司合并
生产效率
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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参考文献
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0
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0
二级引证文献
0
1
国际新闻[J]
.中国集成电路,2015,24(3):6-12.
2
KLA-Tencor公司收购了ICOS[J]
.激光与光电子学进展,2008,45(4):7-7.
3
KLA-Tencor推出最新光罩检测技术[J]
.电子与电脑,2008,8(5):80-80.
4
KLA-Tencor将光刻覆盖控制扩展到65nm节点以下[J]
.电子工业专用设备,2005,34(8):68-69.
5
KLA-Tencor新光罩检测技术可执行多缺陷检测[J]
.电子与电脑,2008,8(10):75-75.
6
KLA-TENCOR推出全新控片检测系统SURFSCAN SP2^(XP) 可加快4X nm以上的芯片生产和3X nm以下的芯片开发[J]
.电子工业专用设备,2008,37(9):75-75.
7
Janey.
KLA-Tencor看好中国半导体市场[J]
.电子工业专用设备,2016,0(11):65-65.
8
KLA-Tencor推出可解决二次成像挑战的首款计算光刻机[J]
.电子与电脑,2008,8(8):53-53.
9
KLA—Tencor推出PROLITH(TM)X3.1光刻模拟软件[J]
.中国集成电路,2010(3):7-7.
10
EDA[J]
.电子设计应用,2005(12):143-144.
电子工业专用设备
2017年 第1期
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