Entegris发布高纯度气体纯化系统平台

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摘要 Entegris近日宣布引进新的先进气体纯化平台，以提高半导体和LED应用的晶圆良率。新系列GateKeeper气体纯化系统（GPS）采用新的纯化介质，可在各种流量下提供一流的气体纯度，且设备占用空间更少。

机构地区 entegris

出处《中国集成电路》 2017年第3期34-34,共1页 China lntegrated Circuit

关键词高纯度气体纯化系统平台 GATEKEEPER 气体纯化纯化介质气体纯度占用空间

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7孔兆荣.气体纯化技术进展[J].化工新型材料,1994,22(2):1-6. 被引量：1
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9张忆延,经铁成,梁宝成.46-04吸气剂提纯氩气的实验与应用[J].低温与特气,1991,9(3):49-54. 被引量：2
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中国集成电路

2017年第3期

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