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苏州纳米所在GaN基功率器件界面控制研究中取得进展

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摘要中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台研究员张宝顺课题组一直致力于高压大功率GaN基电力电子器件的研究工作。目前,通过自主研发以及与香港科技大学教授陈敬课题组进行合作,利用LPCVD（低压化学气相沉积）沉积栅介质层和表面钝化层技术.

机构地区中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

出处《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期1423-1423,共1页 Bulletin of the Chinese Ceramic Society

关键词纳米技术 GAN 界面控制功率器件苏州低压化学气相沉积电力电子器件香港科技大学

分类号 TN304.23 [电子电信—物理电子学]

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硅酸盐通报

2017年第4期

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