微电子厂房暖通空调设计方案对比探讨

本文阐述了微电子厂房空调设计中几种不同方案的比较,分析了洁净室的净化空调设计原理及空气处理过程,介绍了几种空调方案的优缺点,并进行了投资费用和运行费用的说明。通过分析比较不同的空调设计方案,才能在实际设计过程中设计一个满足生产工艺要求、造价合理、经济节能的设计方案。