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光刻技术的历史与现状
被引量：
12
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摘要
集成电路的飞速发展有赖于相关的制造工艺——光刻技水的发展，光刻技术是迄今所能达到的最高精度的加工技术。
作者
楼祺洪
袁志军
张海波
机构地区
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《科学》
2017年第3期32-36,共5页
Science
关键词
激光光刻
大规模集成电路
短波长激光器
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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