基于HF酸蚀刻速率法的ULE玻璃铣磨亚表面破坏层深度检测

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摘要 HF酸蚀刻速率法是光学材料亚表面损伤检测的一种有效方法.本文利用该方法对ULE玻璃铣磨亚表面破坏层深度进行了测量.测量结果表明,在25wt%HF酸作用下,蚀刻速率曲线在90min后到达拐点,对应的亚表面破坏层深度约为30μm.

作者汉语徐井华崔舒张勇刘成有

机构地区通化师范学院物理学院通化师范学院

出处《通化师范学院学报》 2017年第6期35-37,共3页 Journal of Tonghua Normal University

基金国家自然科学基金项目(61505216) 吉林省教育厅"十二五"科学技术研究项目(2013.386)

关键词 ULE玻璃铣磨亚表面损伤 HF酸蚀刻速率法

分类号 TG580.6 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]

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