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美国实现1nm制程工艺突破半导体工艺极限

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摘要美国能源部（DOE）下属布鲁克海文国家实验室的研究人员采用电子束印刷工艺，成功制造出了尺寸仅1nm的印刷设备，创造了新的世界纪录。

作者美国

出处《军民两用技术与产品》 2017年第11期25-25,共1页 Dual Use Technologies & Products

关键词美国能源部半导体工艺制程工艺极限国家实验室印刷工艺研究人员印刷设备

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]

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军民两用技术与产品

2017年第11期

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