直方图法在薄膜厚度测量上的应用研究

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摘要薄膜厚度是薄膜测试领域中非常重要的参数，利用直方图法处理触针式轮廓仪测试数据（标准样品、制备样品）得到台阶高度，是获取薄膜厚度的方法之一。通过对样品的台阶高度、椭偏测试计算结果的对比分析，发现直方图法能够有效避免人为因素的影响，适用于10nm以上的薄膜厚度的测量，是目前最适于定为薄膜厚度测试标准的方法.

作者孟政刘静汪洪

机构地区中国建筑材料科学研究总院绿色建筑材料国家重点实验室

出处《建筑玻璃与工业玻璃》 2017年第5期10-12,共3页 Architectural Glass and Functional Glass

关键词薄膜厚度直方图法厚度测量应用标准样品触针式轮廓仪台阶高度测试数据

分类号 TS803.1 [轻工技术与工程]

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建筑玻璃与工业玻璃

2017年第5期

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